百科首頁(yè) > 正文

化學(xué)氣相沉積（制備材料的氣相生長(zhǎng)方法）

次瀏覽 | 更新時(shí)間：2023-05-20

來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)整理

精選百科

本文由作者推薦

化學(xué)氣相沉積

制備材料的氣相生長(zhǎng)方法

化學(xué)氣相沉積是一種制備材料的氣相生長(zhǎng)方法，它是把一種或幾種含有構(gòu)成薄膜元素的化合物、單質(zhì)氣體通入放置有基材的反應(yīng)室，借助空間氣相化學(xué)反應(yīng)在基體表面上沉積固態(tài)薄膜的工藝技術(shù)。

基本信息

中文名	化學(xué)氣相沉積
外文名	Chemical vapor deposition
領(lǐng)域	化工
簡(jiǎn)稱	CVD
性質(zhì)	化學(xué)反應(yīng)

?定義

化學(xué)氣相沉積(Chemical vapor deposition，簡(jiǎn)稱CVD)是反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)沉積在加熱的固態(tài)基體表面，進(jìn)而制得固體材料的工藝技術(shù)。它本質(zhì)上屬于原子范疇的氣態(tài)傳質(zhì)過(guò)程。與之相對(duì)的是物理氣相沉積（PVD）。

應(yīng)用

現(xiàn)代科學(xué)和技術(shù)需要使用大量功能各異的無(wú)機(jī)新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地?fù)饺肽撤N雜質(zhì)形成的摻雜材料。但是，我們過(guò)去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結(jié)晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產(chǎn)品。因此，無(wú)機(jī)新材料的合成就成為現(xiàn)代材料科學(xué)中的主要課題。

化學(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來(lái)的制備無(wú)機(jī)材料的新技術(shù)?；瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無(wú)機(jī)薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過(guò)氣相摻雜的淀積過(guò)程精確控制。目前，化學(xué)氣相淀積已成為無(wú)機(jī)合成化學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域。

特點(diǎn)

1)在中溫或高溫下，通過(guò)氣態(tài)的初始化合物之間的氣相化學(xué)反應(yīng)而形成固體物質(zhì)沉積在基體上。

2)可以在常壓或者真空條件下(負(fù)壓“進(jìn)行沉積、通常真空沉積膜層質(zhì)量較好)。

3)采用等離子和激光輔助技術(shù)可以顯著地促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)，使沉積可在較低的溫度下進(jìn)行。

4)涂層的化學(xué)成分可以隨氣相組成的改變而變化，從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。

5)可以控制涂層的密度和涂層純度。

6)繞鍍件好。可在復(fù)雜形狀的基體上以及顆粒材料上鍍膜。適合涂復(fù)各種復(fù)雜形狀的工件。由于它的繞鍍性能好，所以可涂復(fù)帶有槽、溝、孔，甚至是盲孔的工件。

7) 沉積層通常具有柱狀晶體結(jié)構(gòu)，不耐彎曲，但可通過(guò)各種技術(shù)對(duì) 化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行氣相擾動(dòng)，以改善其結(jié)構(gòu)。

8)可以通過(guò)各種反應(yīng)形成多種金屬、合金、陶瓷和化合物涂層。

化學(xué)氣相沉積相關(guān)的文章

江蘇?。ㄖ腥A人民共和國(guó)省級(jí)行政區(qū)）

江蘇省，簡(jiǎn)稱“蘇”，是中華人民共和國(guó)省級(jí)行政區(qū)，省會(huì)南京，位于長(zhǎng)江三角洲地區(qū)，中國(guó)大陸東部沿海，地跨北緯30°45'～35°08'，東經(jīng)116°21'～121°56'，與上海市、浙江省、安徽省、山東省接壤。江蘇總面積10.72萬(wàn)平方公里。國(guó)家統(tǒng)計(jì)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，2021年江蘇省常住人口為8505.4萬(wàn)人

侯賽因·伊本·塔拉勒（約旦哈希姆王國(guó)第三代國(guó)王）

侯賽因·伊本·塔拉勒（Hussein Ibn Talal 1935年-1999年），約旦哈希姆王國(guó)第三代國(guó)王、陸?？杖娮罡呓y(tǒng)帥。

哈馬丹（伊朗哈馬丹省省會(huì)）

哈馬丹（波斯語(yǔ)： ?????），中亞古城，古稱?？税吞辜{（Ecbatana），伊朗哈馬丹省省會(huì)，絲綢之路上的一個(gè)重要站點(diǎn)。人口550,284人（2005年）。根據(jù)亞述的歷史記載，哈馬丹建成于約公元前1100年，但是一些歷史學(xué)家認(rèn)為這個(gè)時(shí)間還可以上推到前3000年左右。哈馬丹曾是米底的首都，也是阿赫美

希伯來(lái)語(yǔ)（多使用于以色列等地的語(yǔ)言）

希伯來(lái)語(yǔ):（????????）是猶太人民族語(yǔ)言，以色列通用語(yǔ)言，為世界上較為古老的語(yǔ)言之一?！跋２畞?lái)”意為“渡河而來(lái)”，屬于閃含語(yǔ)系閃米特語(yǔ)族的一個(gè)分支，沒(méi)有元音字母，只有22個(gè)輔音字母，其文字從右往左書(shū)寫(xiě)。許多希伯來(lái)文學(xué)作品和文獻(xiàn)都是用希伯來(lái)語(yǔ)寫(xiě)出來(lái)的，主要文獻(xiàn)保留在《死海古卷》和大量猶太教以及基

二等獎(jiǎng)（獎(jiǎng)項(xiàng)設(shè)置中處于第二層次的獎(jiǎng)勵(lì)）

小編整理：二等獎(jiǎng)是一種獎(jiǎng)項(xiàng)設(shè)置中處于第二層次的獎(jiǎng)勵(lì)，通常表示在特定比賽或評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)中取得了一定程度的成就，但未達(dá)到一等獎(jiǎng)的水平。具體獎(jiǎng)勵(lì)內(nèi)容可能因不同的比賽或評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)而異，但通常會(huì)包括一些實(shí)質(zhì)性的獎(jiǎng)品或獎(jiǎng)金，以及一些象征性的榮譽(yù)，例如獲獎(jiǎng)證書(shū)、獎(jiǎng)杯或榮譽(yù)稱號(hào)等。